Features
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- āļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāđāļāđāļŠ : āļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļēāļĢāļĢāļąāđāļ§āđāļŦāļĨāļāļāļāđāļāđāļŠāđāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒ āđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļĢāļ°āļāļļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļēāļĢāļĢāļąāđāļ§āđāļŦāļĨāļāļāļāđāļāđāļŠāđāļāļāļĨāļļāđāļĄāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ (Arsine, Phosphine, Diborane, Silane āđāļĨāļ° Hydrogen)
- āđāļŠāļĩāļĒāļāđāļāļ·āļāļāļĢāļ°āļāļļāļāļģāđāļŦāļāđāļ : āļāļ§āļēāļĄāļāļĩāđāļāļāļāđāļŠāļĩāļĒāļāđāļāļ·āļāļāļāļĩāđāļāļāļāļŠāļāļāļāļāđāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāđāļāđāļŠ āđāļāļĒāđāļŠāļĩāļĒāļāđāļāļ·āļāļāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāđāļāđāļāđāļŠāļĩāļĒāļāđāļāļāļāđāļē āđ āđāļĨāļ°āļāđāļāļĒ āđ āđāļāļīāđāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāļĩāđāļāļķāđāļāđāļĄāļ·āđāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāđāļāđāļŠāđāļāļīāđāļĄāļāļķāđāļ āļŦāļēāļāļāļĢāļ§āļāļāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļŠāļđāļ āđāļŠāļĩāļĒāļāđāļāļ·āļāļāļāļ°āđāļāđāļāđāļŠāļĩāļĒāļāļĒāļēāļ§āļāđāļāđāļāļ·āđāļāļ
- āļāļāļēāļāđāļĨāđāļāđāļĨāļ°āļāđāļģāļŦāļāļąāļāđāļāļē : āļĄāļĩāļāļąāļ§āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āļāļąāļāļĢāļąāļ āļāđāļēāļĒāļāđāļāļāļēāļĢāļāļāļāļē
- āļŦāļāđāļēāļāļ LCD : āđāļŠāļāļāļŠāļāļēāļāļ°āļāļāļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāđāļĨāļ°āļāđāļāļĄāļđāļĨāļŠāļģāļāļąāļ āđāļāđāļ āļĢāļ°āļāļąāļāđāļāļāđāļāļāļĢāļĩāđ āļŠāļāļēāļāļ°āļāļāļāļāļąāđāļĄ
- āđāļāđāļāđāļāđāļāļ·āļāļāļŠāļāļēāļāļ° : āļāļĒāļđāđāļāļĩāđāļāđāļēāļāļŦāļāđāļēāđāļĨāļ°āļāđāļēāļāļĨāđāļēāļāļāļāļāļāļąāļ§āđāļāļĢāļ·āđāļāļ āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāđāļŦāđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļĒāđāļēāļāļāļąāļāđāļāļ
- āļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļ : IP22 āļāļēāļĄāļĄāļēāļāļĢāļāļēāļ JIS C 0920 āđāļĄāļ·āđāļāđāļāđāļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļāđāļāļŠāļŦāļāļąāļ
- āļĄāļēāļāļĢāļāļēāļ CE : āđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļĢāļąāļāļĢāļāļāļĄāļēāļāļĢāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļāļĨāļāļāļ āļąāļĒāļĒāļļāđāļĢāļ
Specifications
| Model | XP-703IIID | ||||
| Target Gas | Semiconductor manufacturing gas (Arsine, Phosphine, Diborane, Silane, Hydrogen) | ||||
| Sensor Type | Hot wire semiconductor | ||||
| Detectable Leakage Amount | Arsine: 2.53Ã 10-7 PaâĒ m3 /s | Phosphine: 1.52Ã 10-7 PaâĒ m3 /s | Diborane: 1.01Ã 10-7 PaâĒ m3 /s | Silane: 2.53Ã 10-7 PaâĒ m3 /s | Hydrogen: 5.07Ã 10-7 PaâĒ m3 /s |
| Detectable Concentration | 0.5 ppm | 0.3 ppm | 0.2 ppm | 0.5 ppm | 1.0 ppm |
| Display Method | Intermittent sounds and flashing alarm lights | ||||
| Response Time | Within 10 seconds (at a gas concentration three times the detectable concentration, sensitivity setting [4]) | ||||
| Sampling Method | Automatic suction-type | ||||
| Power Supply | 2 Ã AAA alkaline batteries | ||||
| Battery Life*1 | Approx. 12 hours (At normal temperature and humidity) | ||||
| Protection Rating *2 | IP22 | ||||
| Operating Temperature and Humidity | 0°C to +40°C 85% RH or less (no condensation) | ||||
| External Dimensions | W38ÃH130ÃD32 mm (excluding protrusions) | ||||
| Weight | Approx. 190g (including batteries and leather case) | ||||
| Standard Accessories | Leather case, drain filter, replacement filter element, gas probe, dust filter, hand strap, 2 Ã AAA alkaline batteries | ||||
*1 May vary depending on environmental conditions, usage conditions, battery manufacturer, etc.
*2 When a leather case is attached.
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